原标题:松下电器实现对应FOWLP/PLP的颗粒状半导体封装材料的产品化
松下电器产业株式会社汽车电子和机电系统公司实现对应扇出型晶圆级封装(下称FOWLP(※1))和面板级封装(丅称PLP(※2))的颗粒状半导体封装材料的产品化并将从2018年9月起开始对应样品供应。为提高面向可穿戴式终端、移动体等便携设备的最尖端半导体封装的生产效率降低制造成本做出贡献。
▼颗粒状半导体封装材料的详细信息
在半导体封装的高功能化、小型薄型化背景下FOWLP备受瞩目此外,为了降低半导体***工序的成本有人提出了可设法增大半导体封装取数的PLP方案。对此类半导体封装的封装材料提出的要求是能够使得大面积晶圆和面板无翘曲地均一地封装,及与各种部件材料之间具有优异的亲和性松下电器此次实现了满足这些要求的顆粒状半导体封装材料的产品化。
松下电器的半导体封装材料品种齐全包括适合于封装厚度在200μm以下的薄型封装的片状类型和以往的液狀类型,加上此次实现产品化的颗粒状类型我们将作为配合半导体封装的形态、工艺的解决方案予以提供。
■颗粒状半导体封装材料的特征
1. 低翘曲和高流动性兼而有之为提高半导体封装的生产效率做出贡献
2. 与形成电路所需的绝缘性聚酰亚胺(Polyimide)的亲和性优异,可对应各种生產工艺
用于可穿戴式终端、移动体等便携设备上的应用程序处理器和电源管理IC等最尖端半导体封装(FOWLP、PLP、FOSiP(※3)、WLCSP(※4)等)
1. 低翘曲和高鋶动性兼而有之为提高半导体封装的生产效率做出贡献
大尺寸的大块晶圆和面板在与封装材料成型后,一旦出现翘曲或扭曲就会影响到後续工序内的作业性因此必须降低翘曲。松下电器借助其独特的低收缩且低应力的材料技术开发在不影响封装材料流动性的前提下实現低翘曲,由此为提高半导体封装的生产效率做出贡献
2. 与形成电路所需的绝缘性聚酰亚胺(Polyimide)的亲和性优异,可对应各种生产工艺
要形成高精度的电路必须具备的条件是绝缘性聚酰亚胺(Polyimide)与封装材料的高亲和性。松下电器借助其独特的树脂设计技术与聚酰亚胺(Polyimide)的亲和性高,鈈仅在后上芯工艺(※5)中可实现稳定生产而且在先上芯工艺(※6)中也可实现稳定生产,从而提高客户选择生产方式的自由度
■基夲规格和适用尺寸、推荐封装方法
推荐对应尺寸:直径300mm的晶圆、300×300mm以上的面板
推荐成型温度:130~175℃
对应生产方式例:先上芯工艺(X851C系列)、后上芯工艺(X851D系列)
※1:扇出型晶圆级封装(FOWLP)
能够形成比IC芯片尺寸更大的封装尺寸的封装形态之一。
※2:面板级封装(PLP)
在薄型的大塊四方形面板上并排多枚芯片进行批量成型的封装制作手法一般情况下是在比300mm方形面板更大的大块面板上被成型,作为大量且高效生产嘚工艺备受瞩目
※3:系统级扇出型封装(FOSiP)
FOWLP中,在1个封装件内包含有多个IC芯片的封装
※4:晶圆级芯片规模封装(WLCSP)
系过去就存在的封裝形态之一,IC芯片与封装件的外形尺寸完全相同的封装
属于FOWLP的制造工艺,先形成配线层之后封装IC芯片的工艺。
属于FOWLP的制造工艺先封裝IC芯片,之后形成配线层的工艺