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本发明属于毫米尺寸微纳结构加工领域，特别是一种基于AFM探针纳米刻划加工毫米尺寸微纳结构的方法背景技术具有纳米精度的复杂微結构在许多领域有着广泛的需求，如高密度光栅结构、复杂三维微纳结构等已经广泛应用在二元微光学、X射线天文望远镜、极端远紫外光刻、激光惯性约束核聚变诊断系统、实验力学、表面工程等诸多领域对于上述的这类结构，目前采用的加工手段主要为电子束加工、聚焦离子束、激光加工等传统纳米加工手段然而昂贵的加工设备、苛刻的加工条件、微米尺寸的加工范围以...
该技术已申请专利，请尊重研發人员的辛勤研发付出在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途

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