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  • 超高端精密运动控制产品

    DWS系列——适用于干式步进扫描光刻机
    DWSI系列——适用于浸没式步进扫描光刻机
  • 整体化的系统工艺解决方案

    滿足从工艺试验研究到工业级产品的要求独特的工艺参数调节与优化匹配技术从纳米到微米的大范围退火深度高的退火激活率标准化的Cassette/FOUP晶圓传输完全兼容SEMI行业标准

  • 重复定位精度:优于1μm
    亚微米级重复定位精度、直线度和平面度
    1g加速度,速度稳定性低于

参考资料

 

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