多晶多晶铸锭炉热场改造材料包括哪些

各种 多晶 铸锭炉 热场 结构_百度文库
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各种 多晶 铸锭炉 热场 结构
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单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
单晶炉单晶炉的构成
提拉头:主要由***盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成
? 副室:主要是副室筒以及上下法兰组成
? 炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成
? 炉筒:包括取光孔
? 下炉筒:包括抽真空管道
? 底座机架:全铸铁机架和底座
? 坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成
? 分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管 水管卡套等
? 氩气管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件
? 真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等
? 电源以及电控柜:电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线
单晶炉单晶炉的定义
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
单晶炉购买技术主要要求
1.单晶炉装料量(单台机产能多少) 2. 能拉多长、几寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质(少子寿命、电阻率、碳氧含量、位错密度) 5设备制造工艺控制保证 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。
单晶炉单晶炉型号定义
单晶炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。比如85炉,是指主炉筒的直径大小,120、150等型号是由装料量来决定的
单晶炉单晶炉主要需要控制的方面
一、晶体直径(尺寸)
二、温度(功率控制)
三、原料(硅料)
四、泄漏率,氩气质量等
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单晶炉单晶炉热场的设计与仿真
直径在生长过程中可受到温度,提拉速度与转速,跟踪速度与转速,的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶,而速度将直接影响到晶体的内在质量,而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。温度分布合适的热场,不仅单晶生长顺利,而且品质较高;如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量,情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。因此在投资单晶生长企业的前期,一定要根据生长设备,配置出最合理的,从而保证生产出来的单晶的品质。在晶体生长分析与设计中,实验与数值仿真是相辅相成的,其过程可以分为两个部分:
(1)在第一阶段,利用引上法晶体生长实验来进行数值模拟参数的调整。
(2)在第二阶段,利用是用来确定最佳的工艺参数。
数值仿真是用来获得廉价的,完整的和全面细节的结晶过程,以此方法用来预测晶体生长,改善晶体生长技术。数值模拟是当实验的费用太昂贵或无法常规进行时一种非常有用或必不可少的方法。举例来说,对于无经验人员,可以形象化展示熔体流动的历史点缺陷和热应力细节。所以数值仿真是一种达到较高生产率和较好满足市场对晶体直径,质量要求的最好办法。面向过程的仿真软件FEMAG为用户提供了可以深入研究的数值工具,用户通过有效的计算机模拟可以设计和优化工作流程。通过对单晶炉热场的仿真计算,优化设计单晶炉的机械结构,在过程中以仿真结果设定合理的理论拉晶曲线,就可以在实际生产中是完全可以生长出合格的单晶棒。[1]
王庆,张婷曼.基于FEMAG-CZ热场仿真软件的单晶炉热场分析[J].计算机光盘软件与应用,2011,(17): 65~66
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  石墨 我们都知道石墨的用途非常的广泛,随着压制工艺的提高,高密度、高强度、各向同性好的石墨也成为可能,这个就是行业内经常提起的等静压石墨,等静压石墨的出现为石墨进入到了太阳能光伏行业提供了重要条件。
  在单晶或多晶炉中的我们常见见到的产品有三瓣式石墨锅、加热器、导流筒、托盘、保温罩等零部件。
太阳能光伏热场石墨导流筒
单晶石墨加热器
多晶石墨卡瓣
多晶石墨夹头卡帽
  这些由制造的零部件在实际的应用过程中有着其他金属材质无法代替的优良特点,比如受热、加热均匀同时在急冷急热的状态下抗热震性能是非常突出的,更大限度的延长了设备和器具的使用周期。
  不论是在国内还是在国外,等静压石墨制成的器件都属于精品,是多晶硅、单晶硅制造热场的首选基础材料,可以说石墨材料是太阳能光伏热场的重要载体。
  太阳能光伏热场的重要组件有哪些呢?
  一.单晶硅石墨热场,是一个及物理.化学.几何综合理论为一体,专门研究人员经过多年反复考证。多年经验总结制定。
  二.热场采用细结构中粗石墨做炉底护盘.保温罩.上下盖。采用进口等静压石墨做加热器.坩埚.导流筒.托杆.锅托等,保证了石墨坩埚的强度.及纯度。
  三.热场是单晶硅成晶的重要条件之一,热场的梯度分布直接影响着能不能拉出单晶,以及拉制单晶的质量好坏,其材质好坏直接影响热场寿命。
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