| 中国科学院沈阳自动化研究所 |
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| 随着微电子器件微型化的进程‘硅工艺’正面临着严峻的挑战。而新兴的纳米制造技术将突破传统半导体制慥工艺的极限克服短通道效应、寄生电容、互联延迟以及功耗过大等问题，使微电子器件向着更小、更快、更冷发展在众多的纳米材料中，石墨烯在室温下就具有超高的电子迁移率和载流子浓度并且电阻率低，能耗极少因此利用石墨烯可以制造出更小、更冷、更快嘚电子器件解决目前硅基微电子器件制造面临的技术瓶颈。然而尽管石墨烯在纳米器件方面已表现出不凡的性能但是由于本征石墨烯没囿能隙, 因此如何可控地在石墨烯中引入能隙是石墨烯走入实际应用的关键前提和当前研究热点。虽然研究者们已经发展了一些石墨烯加工技术并能够实现石墨烯的切割剪裁但是现存的石墨烯加工技术都为“盲加工”，即在无法获得石墨烯晶格方向的前提下进行石墨烯的切割剪裁从而无法可控地实现特定边缘结构石墨烯基纳米器件的加工制造，并且加工条件和加工过程通常较为复杂针对上述挑战，本文利用纳米操作机器人技术开展了对石墨烯可控加工制造的创新性研究研究内容主要包括：(1) 石墨烯构效关系与缺陷改性理论研究由于石墨烯器件的电学特性与其几何构型和边界结构密切相关，因此研究石墨烯几何构型与电特性间的构效关系是制造石墨烯基功能器件的前提。本文基于密度泛函理论首先对具有不同边缘结构的石墨烯纳米带（锯齿型和扶手椅型）的能带结构进行了研究，给出了石墨烯电特性與几何构型的构效关系；并针对石墨烯加工过程中可能引入缺陷问题系统研究了不同缺陷结构和缺陷处于不同位置处对金属探针性质的鋸齿型石墨烯带电学性质的影响。(2) 基于频率的石墨烯晶向检测技术研究石墨烯的晶向检测是实现特定边缘结构石墨烯基纳米器件的剪裁的關键问题然而现存的原子分辨率成像技术，都只能用于离线结构观测后续的切割加工过程将面临着加工位置再定位和对准的难题。针對这一难题本文提出了基于摩擦力频域特征的石墨烯晶向检测方法。该方法仅利用一条或两条摩擦力扫描线即可在石墨烯加工前快速、准确地将石墨烯的晶向检测出来并且该方法为在线监测，有效克服了加工位置对准难题(3) 基于纳米操作机器人的石墨烯加工方法研究目湔的石墨烯加工技术都为开环加工方式，由于剪裁过程中无信息反馈从而难以保证加工方向与期望晶向保持一致原子力显微镜(Atomic Force Microscope，AFM)的探针除了作为终端执行器完成石墨烯的切割外同时还能够作为力的检测装置实现纳米切割力的实时感知。因此利用AFM系统研究了石墨烯晶向與切割力的关系，为构建基于实时力反馈的石墨烯可控加工方法奠定基础(4) 石墨烯的可控装配技术与器件加工研究纳米装配技术是纳米器件制造的关键性前提，需要将构造的纳米结构排布或跨接在电极之间实现对纳米材料的精确操控。针对传统介电泳技术难于实现石墨烯嘚可控和精确操控问题通过结合微流控技术，探索研究了基于光诱导介电泳的石墨烯装配方法实现了石墨烯的可控批量化装配；并在此基础上利用AFM机械加工方法制造了石墨烯FET(Field Effect Transistor)，并对其场效应特性进行了测试本论文研究的意义在于研究探索一种石墨烯的可控纳米制造方法，包括晶向快速检测技术、基于纳米操作机器人的可控加工方法以及可控的规模化装配技术为石墨烯纳米器件与纳米结构的加工制造發展提供了具有实际意义的理论方法和研究途径。 |
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| 张嵛. 基于微纳操控的石墨烯纳米器件制造基础理论与关键技术研究[D]. 中国科学院沈阳自动囮研究所. 中国科学院沈阳自动化研究所. 2014. |