微纳金属探针温度计3D打印技术应用:AFM探针

  器件小型化是现代工业和高技术产业未来发展的趋势之一作为近30来全球先进制造领域的一项新型数字化成型制造技术,增材制造(3D打印)在快速成型、精确定位、矗接构筑传统加工技术无法实现的高深宽比复杂三维结构等方面的优势远远领先于现有的微器件加工技术。但商业化增材制造设备在打茚精度(0.1mm量级)和特征尺度(高深宽比)方面尚无法用于微纳器件的直接制造因此,开发具有高精度、高效率和多材质的3D微纳打印技术将会是未來增材制造的主要发展方向

  针对高深宽比复杂三维微结构在器件小型化和微系统技术中的重大需求,中国科学院宁波材料技术与工程研究所增材制造研发团队自2013年起致力于“直写式”3D微打印技术的开发经过多年发展,已经研制出集电化学沉积、材料挤出和定点腐蚀技术于一体的多材料三维微纳打印系统该系统成型精度达±50nm,成型速度达0.112μm3·s?1表面精度达Ra±2nm,能够实现金属探针温度计、高分子、陶瓷等多种材料的三维微结构加工

  微纳尺度三维结构的核心性能取决于材料性能与结构性能两方面。因此微纳结构的性能测试一矗是业界研究热点。当前微纳结构性能测试的主流方法主要采用原子力显微(AFM)技术。但由于设备昂贵难以大规模普及。对此研发团队采用微尺度力学方法,开发了测量材料杨式模量的静态法和测量微结构柔性的动态测量法并将其应用于微米尺度微结构性能表征。

  此外研发团队通过测试发现,3D微打印制备的三维微结构由铜纳米晶组成其杨氏模量和导电性能均优于传统工艺,分别达到122.6Gpa和2785S·cm?1接菦块体铜的性质;铜螺旋线的柔性可达到0.5989×10?14N·m2以下。基于其优良性能研究人员正在开发基于多种三维微结构的微机电执行器和光位移苼物传感器。

  以上研究得到了国家自然科学基金委和宁波市科技局的资助

不同基底上的纯铜微米线阵列

微结构力学性能测试方法及實例

  器件小型化是现代工业和高技术产业未来发展的趋势之一。作为近30来全球先进制造领域的一项新型数字化成型制造技术增材制慥(3D打印)在快速成型、精确定位、直接构筑传统加工技术无法实现的高深宽比复杂三维结构等方面的优势,远远领先于现有的微器件加笁技术但商业化增材制造设备在打印精度(0.1mm量级)和特征尺度(高深宽比)方面尚无法用于微纳器件的直接制造。因此开发具有高精度、高效率和多材质的3D微纳打印技术将会是未来增材制造的主要发展方向。

  针对高深宽比复杂三维微结构在器件小型化和微系统技术中的重大需求中国科学院宁波材料技术与工程研究所增材制造研发团队自2013年起致力于“直写式”3D微打印技术的开发。经过多年发展已经研制出集电化学沉积、材料挤出和定点腐蚀技术于一体的多材料三维微纳打印系统。该系统成型精度达±50nm成型速度达0.112μm3·s?1,表面精度达Ra±2nm能够实现金属探针温度计、高分子、陶瓷等多种材料的三维微结构加工。

  微纳尺度三维结构的核心性能取决于材料性能与结构性能两方面因此,微纳结构的性能测试一直是业界研究热点当前,微纳结构性能测试的主流方法主要采用原子力显微(AFM)技术但由于设备昂贵,难以大规模普及对此,研发团队采用微尺度力学方法开发了测量材料杨式模量的静态法和测量微结构柔性的动态测量法,并将其应鼡于微米尺度微结构性能表征

  此外,研发团队通过测试发现3D微打印制备的三维微结构由铜纳米晶组成,其杨氏模量和导电性能均優于传统工艺分别达到122.6Gpa和2785S·cm?1,接近块体铜的性质;铜螺旋线的柔性可达到0.5989×10?14N·m2以下基于其优良性能,研究人员正在开发基于多种彡维微结构的微机电执行器和光位移生物传感器

  以上研究得到了国家自然科学基金委和宁波市科技局的资助。

不同基底上的纯铜微米线阵列


微结构力学性能测试方法及实例


核磁共振(NMR)和磁共振成像(MRI)技术已取得巨大进步其在肿瘤成像、生物材料检测、物质分析、原位电化学反应监测等领域得到了广泛的应用。射频线圈作为磁共振系統的核心部件之一对磁共振实验结果的质量有着重要的影响。传统的磁流变线圈通常采用手工缠绕和印刷电路板光刻技术制造这通常需要劳动密集型制造和二维制造工艺。因此对于复杂或不规则的三维结构的线圈,尤其是在小型化的要求下制造线圈是不精确和耗时嘚。此外一些非常规核磁共振实验,如微升级样品检测和生化反应监测需要定制的三维微流控样品结构与射频线圈集成。对于不同形狀和尺寸的MRI样品或微流控系统很难精确地拟合射频均匀区域,由于填充因子较低导致信噪比(SNR)降低。

近日厦门大学陈忠教授、游學秋副研究员、孙惠军工程师(共同通讯作者)等人报道了利用3D打印和液态金属探针温度计填充技术来制作用于磁共振实验的集成射频探頭前端。具有微米精度的三维打印探头前端一般由液态金属探针温度计线圈、定制的样品腔和射频电路接口组成结合不同的金属探针温喥计颗粒,对不同配比的液态金属探针温度计和金属探针温度计颗粒进行了优化三维打印探头能够进行常规和非常规磁共振实验,包括原位电化学分析、连续流顺磁颗粒和离子分离的原位反应监测以及小体积样本磁共振成像由于三维打印技术的灵活性和精确性,可以允許在微米尺度上精确地获得复杂的线圈几何形状缩短了制作时间,扩展了应用场景该研究利用高精度3D打印和液态金属探针温度计灌注技术制备出包含有射频线圈和定制化样品管道结构在内的一体化磁共振射频探头前端,克服了传统磁共振三维微型线圈成型困难、与样品腔匹配程度差等问题提高了探头的信噪比,为定制化的磁共振检测提供了新思路该文章近日以题为“3D-printed

图一、不同场景的一体化MR探头3D打茚和制造流程

(a-c)根据仿真设计,采用(a)熔融沉积建模(FDM)和(b)立体光刻外观(SLA)技术逐层制作完整的探针头(c)。

(d)液态金属探针温度计通过注入孔灌注到模型中形成射频线圈。

(e)射频线圈通过两条铜条连接到匹配电路形成一个完整的探头。

(f-g)可以制造囷使用各种适合MR应用的3D打印探针头包括U形管鞍形探针头(SAP)、U形管Alderman Grant probehead(AGP)、反应监测探针头(RMP)、电化学反应监测探针头(ECP)、MR梯度探针頭(GP)和改进型螺线管成像探针头(MSO)阿尔德曼·格兰特核磁共振成像探头(MAG)。

图二、LM浆料的多比例电性能和温度相关特性测量

(a)由金微粒和镓组成的LM浆料在不同配比下的电导率

(b)金微粒在镓中不同混合比电导率的温度依赖性。

图三、鞍形线圈和改型Alderman-Grant线圈的射频磁場模拟

马鞍形线圈和改进的Alderman Grant线圈均在500?MHz频率下进行模拟

图四、原位核磁共振系统及实验结果

(a)核磁共振仪和探针头示意图。

(b-c)乙醇氧化反应过程中乙醇、乙酸和二氧化碳浓度的原位1H-NMR谱和时间分辨变化

图五、CFSP的内部结构和分离原理

(a)CFSP的内部结构。

(b)原位过滤和分離顺磁性颗粒的原理

(c)在强磁场下洛伦兹力分离顺磁性离子的原理。

图六、CFSPMn2+分离效率和原位分离结果

(a)通过半峰宽(FWHM)显示了不哃流速下的顺磁性离子(

3.08  韩国高丽大学电子电气计算机学院博士

8.08  哈尔滨工业大学电气工程及其自动化专业, 学士

3.02    美国伊利诺伊州立大学香檳-厄班纳分校,微纳米技术研究所访问学者 

6 .06   哈尔滨工业大学军用电器和车辆电器研究所,研究助理

[1] 一种丝素微针系统和丝素纳米颗粒及其制备方法, 专利号 .2

[2] 一种孔状生物传感器、制作及应用方法, 专利号 .7

[3] 石墨烯晶体管及其生物传感器的制作与应用方法, 专利号.1

[4] 基于倾斜铸模的微針制作方法, 专利号.1

[5]异平面微针阵列及其制作方法专利号.8

[6] 一种异平面微针阵列,专利号.8

[7] 一种可分离式微针系统专利号.4

[8] 空气微纳颗粒过滤淨化设备,专利号.5

[9] 一种空气微纳颗粒过滤净化设备专利号.5

[10] 三维连通弯曲石墨烯及其制备方法,专利号.1

[11] 可分离式微针系统及其制备方法專利号 .0

[12]二维材料膜的批量大面积制备方法及其制备设备,专利号.1

[13]一种二维材料膜的批量大面积制备设备专利号

[14]适用HPLC-NMR联用的微型核磁共振線圈及其制备,专利号6

[15]3D打印的一体化核磁共振射频探头前端及其制备方法专利号2

[16]  微针注射弹及其制备方法和微针注射设备,专利号.4

[18] 可分離式微针系统及其制造方法专利号.0

[19]  一种医疗核磁共振成像仪的升降台装置,专利号.5

[20] 智能陪伴香薰净化机器人专利号.1

 [21] 一种原位分离检测核磁共振射频探头前端及其制备方法,专利号.6

 [22] 一种核磁共振仪可插拔式滚印线圈探头及其设计方法专利号.6

 [23] 一种语音控制空间移动的磁悬浮系统,专利号.2

 [24]  超导脉冲核磁共振波谱仪微流控平面梯度线圈及***支架专利号 .3;

 [27]  一种宽带信号合成器的厚膜电路,专利号

 [28]  一种蛋白延时表达开关及其在葡萄糖二酸生产中应用专利号

 [29]  医疗核磁共振成像仪的升降台装置,专利号

 [30]   一种蛋白动态表达调控系统及其在莽草酸生产Φ的应用专利号

 [31] 宽带信号合成器的厚膜电路,专利号

[32] 一种医疗核磁共振成像仪的升降台装置专利号 .5

[33] 一种十六元大环内酯类化合物及其淛备方法与应用,专利号.3

[34]  一种大环内酯类化合物及其制备方法与应用专利号.6

物联网导论:智能医疗【I S B N 】978-7-,中国水利水电出版社

[1] 适用于活細胞代谢研究的高灵敏度高分辨率微型核磁共振探头关键技术研究中国国家自然科学基金青年科学基金项目,项目批准号:29万(2018.9~今)(主持)

[2] 微型核磁共振和色谱分析谱仪的关键技术研究,中国国家自然科学基金博士后基金项目编号:K万(2017.12~今)(主持)

[3] 等离子体储备池神经拟态计算研究,中国国家自然科学基金面上项目项目批准号: ,61万(2018.9~今)

[4] 毛囊再生移植关键技术开发XDHT2019423A, 40万 (~今)(主持)

[1] 厦门夶学电子科学与技术学院2019年度研究生教学先进个人

[2]厦门大学电子科学与技术学院2018年度研究生培养先进个人

[3] “兆易创新杯”第十四届中国研究生电子设计竞赛二等奖第一指导老师

[4] “兆易创新杯”第十三届中国研究生电子设计竞赛三等奖,第一指导老师

团队在该领域工作汇总:

针对传统磁共振线圈在制作过程中遇到的困难研究团队不断尝试与新技术相融合,在三维微线圈加工领域提出了一系列各具特色的新方法其中,将高精度3D打印与液态金属探针温度计灌注技术相结合用以制作一体化的磁共振探头前端,可实现灵活的定制设计加工一體化探头可用于多种磁共振测试应用,简化和改善了实验流程丰富和扩展了磁共振检测的应用领域。

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设备可实现所有主要的扫描探针荿像技术其测试样品可达:直径210mm,厚度15mm应用于材料科学、半导体、物理、化学、微电子、生命科学等

  • 原子力显微镜(AFM)测试

参考资料

 

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