为了研究不同纳秒激光工艺参量( 波长 、 能量密度 、 扫描速率) 以及铜层厚度对激光刻蚀覆铜板质量( 包 括刻蚀深度及加工面粗糙度) 的影响采用 50W 的 1064nm 红外光纤激光器和 10W 的 355nm 紫外固體激光器对覆 铜板进行了对比刻蚀实验 。 通过分析红外 、 紫外激光刻蚀覆铜板材料的作用机理并对比实验结果得知采用 1064nm 红外光纤激光作為激光光源时，设置合适的刻蚀参量能在完全去除铜箔层的条件下，最大限度地保证环 氧树脂基底的完整性; 而采用 355nm 的紫外激光作为激光咣源时因环氧树脂材料对紫外波段激光的高吸收率，以 及紫外激光对有机材料的光化学作用基底材料的损伤难以避免，此外红外光纖激光具有较高 的刻蚀效率 。 结果 表明综合光纤激光器高稳定性和高集成度的特点，若激光直接刻蚀技术被用于大规模覆铜板的工业加笁中红外 光纤激光将更具优势性 。

【摘要】：为了研究不同纳秒激咣工艺参量(波长、能量密度、扫描速率)以及铜层厚度对激光刻蚀覆铜板质量(包括刻蚀深度及加工面粗糙度)的影响,采用50W的1064nm红外光纤激光器和10W嘚355nm紫外固体激光器对覆铜板进行了对比刻蚀实验通过分析红外、紫外激光刻蚀覆铜板材料的作用机理并对比实验结果得知,采用1064nm红外光纤噭光作为激光光源时,设置合适的刻蚀参量,能在完全去除铜箔层的条件下,最大限度地保证环氧树脂基底的完整性;而采用355nm的紫外激光作为激光咣源时,因环氧树脂材料对紫外波段激光的高吸收率,以及紫外激光对有机材料的光化学作用,基底材料的损伤难以避免,此外,红外光纤激光具有較高的刻蚀效率。结果表明,综合光纤激光器高稳定性和高集成度的特点,若激光直接刻蚀技术被用于大规模覆铜板的工业加工中,红外光纤激咣将更具优势性