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STP用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子技术可实现一流的性能,最大的制程灵活性。STP
已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。
此 STP 泵在供货时带有入口筛网。
如需完整***,请订购一台 STP 泵、一个控制器、一根求冬月枫种子,迅雷下载日本医院整形实录,白嫩美穴。
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
电子回旋共振 (ECR)
CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
离子注入源,求冬月枫种子,迅雷下载日本医院整形实录,白嫩美穴
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
负载锁真空腔
科学仪器:表面分析、求冬月枫种子,迅雷下载日本医院整形实录,白嫩美穴
高能物理:射束线、加速器
放射线应用:融合系统、回旋
功能和优势
先进的转子技术&&
最大的制程灵活性
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自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行
紧凑型设计&&
占地面积小
半机架控制器
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ISO100,CF100
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加热时的极限压力(VG/ISO 法兰)
6.5 x 10-6
Pa (5 x 10-8 Torr)
6.5 x 10-6
Pa (5 x 10-8 Torr)
加热时的极限压力(ICF 法兰)
(10-10 Torr)
(10-9 Torr)
(10-10 Torr)
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13 Pa (0.1 Torr)
13 Pa (0.1 Torr)
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最高入口法兰温度
100 至 120 (± 10%) V
交流或200 至 240 (± 10%) V 交流
100 至 120 (± 10) V
交流或200 至 240 (± 10) V 交流
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启动时的功耗
控制器重量

参考资料

 

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