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溅射的靶材烧成这样子，请各位帮我看看是什么原因
我的靶材是NiMnGa合金，直流电源功率是100W，溅射气压0.5Pa。本来是打算溅射1h，结果才溅射了30min，机器就提示没有等离子体了，无法完成程序。打开腔室，取下靶材就发现变成烧成如图的模样了。另外我放了NaCl，硅片，玻璃，旋涂了PMMA的硅片，还有云母片这几种衬底放在托盘上待沉积。
谢谢，您说的很有道理。我还想问你，像出现这种情况后镀出来的薄膜的成分会出现靶材成分之后的杂质元素吗？
能具体说说靶材***时候要注意哪些吗？
什么是靶材成分之后的杂质元素？
你这个就会导致过热的地方和其他的地方的溅射速率不同，如果反应溅射，差别会更大。杂质是没有的，哪里来的杂质阿？
另外不知道你这50个金币咱能分多少啊？哈哈
我这个不是反应溅射。
那有没有可能是溅射过程中衬底上有东西掉到靶材上造成的这种情况啊？
因为我用了云母片做衬底，拿东西容易掉小碎末。
还有一个就是我溅射一个小时之后，为什么放衬底的托盘拿出来之后还会烫手啊？
金币是吧，看你这么专业的回答我想都给你的，但是不知道怎么给啊
你的东西掉在靶材上，为什么啊？不大明白你的意思，你给的这些信息不是很全。没办法回答你。具体很多东西你可以自己分析的。
托盘热那是因为你的样品架没有冷却，跟靶材没有任何关系。plasma本来就是有能量的，长期轰击一个地方必然导致那里发热。
具体金币 怎么给，万事不难，看你有没有这个心了哦
是这样给金币吗
那是，多想你学习:victory:
我的靶材是自己熔炼的，可能是不太干净，或者致密度不够高。
不客气，:P
有什么问题以后可以互相交流，呵呵:hand:
都成这熊样了，带啥手套啊
跟别个老师要的，指甲盖一块说是花了几百块。好像是从南京买的
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&&&&&加点方案&&&&&
职业：魔法师 & 元素师 & 大魔导师 & 元素圣灵
SP： 全部 10770 已用 10305 剩余 465
TP： 全部 36 已用 36 剩余 0
QP： 全部 3974 已用 0 剩余 3974
方案传送门：
&&&&&通用技能&&&&&
受身蹲伏：Lv1
基础精通：Lv1
魔法暴击：Lv10
&&&&&普通技能&&&&&
杰克爆弹：Lv1
光电鳗：Lv1
冰霜雪人：Lv1
暗影夜猫：Lv1
魔法秀：Lv20
元素点燃：Lv20
契约召唤：赫德尔：Lv1
魔法护盾：Lv1
替身草人：Lv1
魔法星弹：Lv1
挑衅人偶：舒露露：Lv1
远古魔法书：Lv20
元素师布甲精通：Lv1
魔法记忆：Lv10
移动施法：Lv10
烈焰冲击：Lv1
雷旋：Lv31
冰墙：Lv31
虚无之球：Lv1
冰系精通：Lv5
火系精通：Lv5
光系精通：Lv5
暗系精通：Lv5
杰克降临：Lv26
极冰盛宴：Lv23
湮灭黑洞：Lv23
元素集中：Lv1
陨星幻灭：Lv8
光电冰墙：Lv13
虚无火山：Lv8
元素奥义：Lv6
圣灵符文：Lv6
&&&&&特性技能&&&&&& && && && && && && && && &&&
强化 - 杰克降临：Lv5
强化 - 极冰盛宴：Lv5
强化 - 雷旋：Lv3
强化 - 冰墙：Lv5
最后加完还有&&460点&&是加2觉好还是，元素之门好。。。。加2觉可以从雷旋上扣1级SP点。。1级天雷聚怪用。
&&然后是TP 冰墙肯定是要加满的，保命神技啊， 问题来了 TP是加那个好点&&积冰跟大杰克加满都是加攻击的而黑洞只是加吸附范围跟吸附力。。。加那个好点。&&雷旋补刀。。。
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08:31:35 上传
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一直被坑中，从未爬出坑。。大坑小坑坑中有坑。。。。
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把元素集中最好学上10吧(酌情)？你这样等于是把增幅套的伤害加成填补了减抗的伤害。。。得不偿失。。感觉可以放弃雷旋和光精通(补刀可能蛋疼点)，强化冰墙3级够用，元素门要么6，要么1和一级二觉
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末inori 发表于
把元素集中最好学上10吧(酌情)？你这样等于是把增幅套的伤害加成填补了减抗的伤害。。。得不偿失。。感觉可 ...
如果放弃雷旋 ，像异界的图有无色感应。。。补刀那就蛋疼勒。。。。
一直被坑中，从未爬出坑。。大坑小坑坑中有坑。。。。
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引用 我卧底别打我 回复楼上说的没错难道X打
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你有增幅6的话，异界吃个百分之20的CD药，大南瓜的CD貌似低于10S，用大南瓜。
异界有无色反应的图基本就龙2图，火山+黑洞直接秒过（就算无色反应了，也能很快的打破壳），其他图色无色反应直接秒过，补刀的话直接用大南瓜
我就应该和沙发的加点差不多，我是契约点（还有20天的契约）
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我卧底别打我 发表于
如果放弃雷旋 ，像异界的图有无色感应。。。补刀那就蛋疼勒。。。。
点小黑球。省下光系精通sp
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元素集中不点你确定你玩的是元素？
疾如岛风！？
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痴女岛风????
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魔法书可以舍了，黑洞点低点，把一觉被动优先满上吧
一途な片思い、?らせたい小さな幸せ。
想念你那么久了
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与人为善不是委屈求全 .
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个人感觉元素门还有光精通不用点了~
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职业：魔法师 & 元素师 & 大魔导师 & 元素圣灵
SP： 全部 10770 已用 10765 剩余 5
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&&&&&通用技能&&&&&
受身蹲伏：Lv1
基础精通：Lv1
魔法暴击：Lv10
魔法背击：Lv1
&&&&&普通技能&&&&&
杰克爆弹：Lv1
光电鳗：Lv1
冰霜雪人：Lv1
暗影夜猫：Lv1
魔法秀：Lv20
元素点燃：Lv20
契约召唤：赫德尔：Lv1
魔法护盾：Lv1
替身草人：Lv1
魔法星弹：Lv1
挑衅人偶：舒露露：Lv1
元素师布甲精通：Lv1
魔法记忆：Lv10
移动施法：Lv10
烈焰冲击：Lv1
冰墙：Lv31
虚无之球：Lv1
冰系精通：Lv5
火系精通：Lv5
光系精通：Lv5
暗系精通：Lv5
杰克降临：Lv26
极冰盛宴：Lv23
天雷：Lv26
湮灭黑洞：Lv9
元素集中：Lv13
陨星幻灭：Lv8
光电冰墙：Lv13
虚无火山：Lv8
元素奥义：Lv6
圣灵符文：Lv6
元素之门：Lv1
第六元素：Lv1
&&&&&特性技能&&&&&
强化 - 元素点燃：Lv5
强化 - 杰克降临：Lv5
强化 - 极冰盛宴：Lv5
强化 - 冰墙：Lv3
强化 - 天雷：Lv1
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能不出来误导新人么233333~
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紫雨UNITED 发表于
魔法书可以舍了，黑洞点低点，把一觉被动优先满上吧
&&同感... 其实元素如果控制的好一般不需要魔法书的（召唤师点魔法书才是最好的） 元素不推荐点..
新人欢迎积分0 阅读权限40积分250精华0UID帖子金钱916 威望0
Lv.4, 积分 250, 距离下一级还需 750 积分
UID帖子威望0 多玩草0 草
自从增幅9穿上就没有脱下来过。。纯大招加点。。
- - 别说无色反应。。比如巴卡尔2图 进图前蓄火山 进图后支援兵电鳗碰撞机 放火山 然后就站桩了。。
16:34:46 上传
16:34:50 上传
16:34:52 上传
TP是 南瓜，天雷，极冰，点燃，3级冰墙
因为增幅9没有想脱的意思 所以把点燃TP学满了
最后附上我家小元素的属性图。。。
16:34:55 上传
极巨龙除外。其他的都能一波带走
新人欢迎积分0 阅读权限40积分593精华0UID8513157帖子金钱1387 威望0
Lv.4, 积分 593, 距离下一级还需 407 积分
UID8513157帖子威望0 多玩草10 草
アッカリ～ン 发表于
自从增幅9穿上就没有脱下来过。。纯大招加点。。
- - 别说无色反应。。比如巴卡尔2图 进图前蓄火山 进图后 ...
看到个纯大招流不容易啊.& && & 终看到个同样加点的了- -!!
每天异界看到的都是带冰晶套的.&&
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